真空炉的分子泵机组操作流程

真空炉的分子泵机组操作流程,在高温真空炉开始升温前检查水路各阀门是否能打开,水流是否通畅。做好高温炉开机前的准备工作后,打开手动阀,就可以按下总电源控制面板上的“机械泵开”按钮启动机械泵,这时“机械泵开”按钮显示灯亮。开真空计,等待真空计低真空部分显示<10Pa时(如有旁抽,打开手动旁抽阀,由旁抽管路对系统预抽真空。待低真空显示<10Pa时,关闭手动旁抽阀。开主阀。真空显示<10Pa时)打开分子泵电源,按下分子泵控制电源面板上的“启动”按钮,启动分子泵。待分子泵达到正常转速后57分钟,这时应该已经达到真空计电离规允许启动的真空度,按下真空计控制电源电离部分的“开电离”按钮,观察真空计高真空数值。

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